تؤدّى صلاة تحيّة المسجد كأي صلاة أخرى، حيث يبدأ المسلم بالتكبير، ثمّ يقرأ سراً سورة الفاتحة، ثم ما تيسر له من القرآن، ثمّ يركع، وبعد أن يقوم يسجد سجدتين، ثمّ يقوم مرة أخرى، ويُعيد الصلاة بالترتيب السابق، وبعد أن ينتهي من السجدة الثانية في الركعة الثانية يجلس ويقرأ التشهّد، والصلاة الإبراهيميّة، ثم يُسلّم عن يمينه وعن شماله.